กลุ่มสนับสนุนทั่วไป กลุ่มวิชาชีพเฉพาะ ตำแหน่งผู้ชำนาญการพิเศษ ประเมินตามองค์ประกอบ ดังนี้

1.  คุณสมบัติเฉพาะตำแหน่ง

        - คุณวุฒิระดับปริญญาตรีหรือเทียบเท่า ต้องดำรงตำแหน่งนั้นๆมาแล้วไม่น้อยกว่า 5 ปี

        - คุณวุฒิระดับปริญญาโทหรือเทียบเท่า ต้องดำรงตำแหน่งนั้นๆมาแล้วไม่น้อยกว่า 3 ปี

        - คุณวุฒิระดับปริญญาเอกหรือเทียบเท่า ต้องดำรงตำแหน่งนั้นๆมาแล้วไม่น้อยกว่า 2 ปี

2.  ผลการประเมินปริมาณงานในหน้าที่ คุณภาพของงานในหน้าที่

3.  ผลการประเมินสมรรถนะที่จำเป็นสำหรับตำแหน่งที่จะประเมิน

4.  ผลงานที่แสดงความเป็นผู้ชำนาญงาน

        เสนอผลงานอย่างน้อย 3 เรื่อง ผลงานมีคุณภาพอยู่ในระดับ "ดี" มีผลงานอย่างน้อย 2 เรื่อง ที่ผู้ขอแต่งตั้งเป็นผู้ดำเนินการหลัก โดยไม่กำหนดร้อยละการมีส่วนร่วม ทั้งนี้ ผลงานต้องประกอบด้วย

        กลุ่มสนับสนุนทั่วไป

         1. งานวิเคราะห์หรืองานสังเคราะห์ ที่แสดงให้เห็นถึงการพัฒนางานในหน้าที่ อย่างน้อย 1 เรื่อง และ

        2. คู่มือการปฏิบัติงาน หรืองานวิจัย หรือบทความทางวิชาการ หรืองานแปล หรือเอกสารประกอบการบรรยาย (เอกสารประกอบการบรรยาย จำนวน 3 หัวข้อ เท่ากับ 1 เรื่อง) หรือผลงานทางวิชาการในลักษณะอื่น

        กลุ่มวิชาชีพเฉพาะ

         1. คู่มือการปฏิบัติงาน หรืองานวิเคราะห์หรืองานสังเคราะห์ ที่แสดงให้เห็นถึงการพัฒนางานในหน้าที่ อย่างน้อย 1 เรื่อง และ

        2. งานวิจัย หรือบทความทางวิชาการ หรืองานแปล หรือเอกสารประกอบการบรรยาย (เอกสารประกอบการบรรยาย จำนวน 3 หัวข้อ เท่ากับ 1 เรื่อง) หรือผลงานทางวิชาการในลักษณะอื่น

5.  จริยธรรมและจรรยบรรณทางวิชาชีพของผลงาน